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他辞去海外终身职位 带整建制团队回国攻坚半导体


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不久前,达博做出了一个重要决定:辞去日本国立材料研究所(NIMS)的永久研究职位,带领一支由多名独立科研骨干组成的团队回国发展。

深耕半导体装备关键材料与核心部件领域多年,达博是极少数深度参与 2022 年后国际半导体一线产业项目的中国籍学者。他牵头美国泛林集团(Lam Research)与 NIMS 联合研发项目,聚焦台积电 3 nm 量产产线,主攻电子束设备、刻蚀设备的关键材料与核心部件研发与应用攻关 [1]。




图丨美国泛林集团(Lam Research)捐赠新闻稿(来源:泛林日本

做出回国抉择,他放弃了诸多优厚机会。泛林集团与他长期合作,过往曾多次给予无偿捐赠支持。今年 4 月 27 日,在得知他决意辞职后,泛林方面随后再次提出无偿捐赠支持,希望其继续推进相关合作研究。与此同时,多家海外企业也向他抛出优厚合作条件,但这些因素已不能动摇达博全职回国的决心。

如今,他已正式受聘于母校中国科学技术大学工程科学学院担任讲席教授。这个选择看似突然但恰好踩在一个关键节点上:当半导体制程逼近亚纳米尺度,决定胜负的不再只是半导体装备的设计与集成,而是那些装备中更底层、也更难被看见的材料与部件能力。


他和团队想做的事情不仅是在高水平学术期刊上发表论文,更是要为国产半导体装备筑牢自主可控的“筋骨与基石”。恰逢当前国内半导体产业攻坚的关键时期,此时回国正当其时,团队多年积累的行业积淀与技术经验,也正好能为国家产业发展贡献力量。

那个从甘肃大山走出的少年,成为 NIMS 最年轻的永久职位研究人员

这位 85 后出生于甘肃省陇南市康县。康县素有“陇上江南”之称,山水秀丽,却也因地处秦巴山区、交通不便,教育资源十分有限。他以市应届高考状元的成绩,进入中国科学技术大学物理学专业就读。


达博回忆道:“年少读书时只有一个想法,那就是通过积极努力去获得改变环境的机会。在那个交通闭塞的年代,我对世界的很多认知都来源于书本,对未知世界的渴望和想象是我学习最大的动力。”

从本科到硕士再到博士,达博在中国科学技术大学度过了 9 年时光,师从丁泽军教授。在此期间他围绕半导体装备进行了大量理论研究,本科毕业论文是用理论方法研究电子束曝光机的工艺问题。

在中科大求学期间的数理功底与基础研究积累为日后的发展打下了坚实的基础,达博也找到了明确的发展方向——先进制程半导体装备中的关键材料与核心部件。彼时,日本在半导体设备领域处于领先地位,荷兰 ASML 公司还不像如今那样有名。


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