阿斯麥的新一代EUV光刻機造價要

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阿斯麥的新一代EUV光刻機造價要

阿斯麥的新一代EUV光刻機造價要

2021-09-02 | 來源: 網易科技報道 | 轉到微信 | 有2人參與評論 | 字體: 放大縮小 | 收藏 | 打印

　　9月2日消息，荷蘭阿斯麥的新一代極紫外（EUV）光刻機每台有公共汽車大小，造價1.5億美元。其前所未有的精度可以讓芯片上的元件尺寸在未來幾年繼續縮小。

　　在位於美國康涅狄格州郊區的一間大型潔淨室裡，工程師們已經開始為一台機器制造關鍵部件，這台機器有望讓芯片制造行業沿著摩爾定律至少再走上10年時間。

　　這台極紫外光刻機是由荷蘭阿斯麥公司制造的。阿斯麥於2017年推出世界上第一台量產的極紫外光刻機，在芯片制造領域發揮著至關重要的作用，已經被用於制造iPhone手機芯片以及人工智能處理器等最先進的芯片。阿斯麥正在康涅狄格州的威爾頓制造下一代極紫外光刻機的部分組件，其使用新技術來最小化紫外線波長，從而盡可能縮小所制造的芯片元件尺寸，最終提高整個芯片的性能。

　　新一代極紫外光刻機大約有一輛公共汽車那麼大，造價1.5億美元。整個機器包含10萬個部件和2公裡長的電纜。每台機器發貨需要40個集裝箱、3架貨機或者20輛卡車。只有諸如台積電、三星和英特爾等少數公司能買得起這種機器。

　　

　　“這真是一台不可思議的機器，”麻省理工學院研究新型晶體管架構的教授Jesús del Alamo說。“這絕對是一款革命性的產品，是一項突破，將給芯片行業帶來新的生命。”

　　在康涅狄格州的工廠裡，工程師們將一塊巨大鋁材雕刻成框架，最終讓光罩以納米級的精度在其間移動，反射極紫外光束。這些光束利用幾面鏡子來回反射，以驚人精度反復修飾打磨，在硅片上蝕刻出只有幾十個原子大小的特征圖案。

　　造好的組件將於2021年底運往荷蘭維荷芬，然後在2022年初安裝到新一代極紫外光刻機的第一台原型機中。英特爾可能會使用這種新機器制造出第一批芯片。英特爾表示，預計將在2023年下線第一批芯片。憑借比以往任何機器所蝕刻的圖案尺寸更小，讓每個芯片都有數百億個元件，這台機器在未來幾年所生產的芯片應該是史上處理速度最快、效率最高的。

　　總之，阿斯麥新一代極紫外光刻機有望延續芯片制造以及整個科技行業不斷進步的理念，繼續讓摩爾定律保持活力。

　　1965年，電子工程師、英特爾創始人之一戈登·摩爾(Gordon Moore)在行業雜志《電子學》35周年特刊上發表了一篇文章。摩爾在文章中指出，單一硅芯片上的元件數量每年大約翻一番，他預計這一趨勢將繼續下去。

　　

　　十年後，摩爾將他的預計從一年改為兩年。近年來，盡管制造技術的不斷突破和芯片設計的不斷創新保持著這種勢頭，但摩爾定律的發展依舊受到了質疑。

　　極紫外光刻機使用特殊的工程技術來縮小用於制造芯片的光波長，這應該有助於延續摩爾定律的趨勢。這種光刻技術對於制造更先進的智能手機以及雲計算機器，還有人工智能、生物技術和機器人等新興技術的發展都至關重要。“摩爾定律的消亡被過分誇大了，”Jesús del Alamo說。“我認為這仍將持續相當長一段時間。”

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