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上市一個月後,中國芯片公司向美國巨頭"宣戰"

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上市1個多月後,國產芯片公司對美國巨頭發起“訴訟戰”。


8月13日晚間,屹唐股份發布公告稱,美國芯片設備巨頭應材非法獲取其核心技術秘密,並利用相關技術在中國境內申請專利,指控其違反“反不正當競爭法”,侵犯商業秘密,向應材發起訴訟,索賠9999萬元。

公告顯示,該訴訟涉及一項基於高濃度、穩定均勻的等離子體進行晶圓表面處理的技術,廣泛用於幹法去膠、幹法蝕刻、表面處理及改性等半導體加工設備中,屹唐股份稱這項技術屬於其關鍵技術之一。




晶圓制造主要流程

資料顯示,在半導體制造中,等離子體通常通過高頻電場激發氣體產生,由於具備高活性的特點,可以與固體表面(硅晶圓)發生物理或化學作用,實現精密加工。

等離子體的高濃度代指等離子體中粒子密度高,在單位時間內與晶圓表面發生反應的粒子數量更多,同時保證對微小的晶圓表面區域充分發生作用,以實現提效;而穩定均勻更為關鍵,可以保證同批次的晶圓質量,尤其是大尺寸晶圓表面區域處理效果一致,避免導致芯片報廢。

屹唐股份在公告中指控應材通過聘用其全資子公司Mattson員工的形式獲取商業機密,稱相關員工知曉上述技術並且簽署有保密協議,但在入職應材後在中國境內發起專利申請,公開披露了屹唐和其子公司Mattson共有的技術秘密。

該案件目前處於剛剛受理階段,且屹唐股份也在公告中強調不會對公司經營方面產生重大不利影響,不會影響公司正常生產經營,這種情況下發公告提及訴訟案件頗不尋常。另外,公告亦沒有對這項技術屬於屹唐和其子公司Mattson提供說明。


“為了造勢,爭取輿論的支持,”一位資深法律人士對我們表示,“他們本意更像是告訴外界, 中國公司可以挑戰美國大企業。”

01 市值700億的國產半導體設備龍頭

屹唐股份作為半導體設備龍頭,7月8日在科創板敲鍾上市,開盤大漲近200%,市值超過770億元。截至發稿,其最新市值為697.22億元。


2020年5月、9月和10月,屹唐股份連獲三輪融資,被稱之為“創投圈現象級項目”。

屹唐股份於2015年成立,由亦莊國投孵化,2016年收購美國半導體設備企業Mattson,是一家總部位於中國的全球性半導體公司,在中國美國德國都設有研發、制造基地,核心業務是晶圓加工設備研發、生產和銷售,為全球的晶圓制造客戶提供幹法去膠設備、快速熱處理設備、幹法刻蝕設備等解決方案。

根據 Gartner 2023年統計數據,屹唐股份幹法去膠設備、快速熱處理設備市場占有率均位居全球第二,幹法刻蝕設備市場占有率位列全球第九。

需要注意,排名靠前和市場份額並不直接掛鉤,其幹法去膠設備2023年全球市場占有率相對較高,達到34.60%,快速熱處理設備2023年市場占有率為13.05%,幹法刻蝕設備2023年全球市場占有率 0.21%。

資料顯示,截止2024年6月屹唐股份相關設備累計裝機超 4600 台,覆蓋邏輯芯片、閃存芯片、DRAM 芯片領域。其中,快速熱處理設備單價達到1500萬元,幹法刻蝕設備單價最高接近2500萬元,幹法去膠設備單價在700萬元左右。

其招股書顯示,2021-2023年,公司營收分別為32.41億元、47.63億元、39.31億元,淨利潤分別為1.81億、3.83億、3.09億元。2024年1-9月,公司營收33.3億元,同比增長23.89%,淨利潤4.2億元,同比增長102.29%。公司預計2024年全年營收45-47億元,歸母淨利潤 4.8-5.5 億元,扣非淨利潤同比增長 59.94%-85.85%。
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