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日期: 2026-05-17 | 來源: 鈦媒體 | 有0人參與評論 | 字體: 小 中 大很多人一提起EUV光刻機，都認為這是人類科技史上工業皇冠，全球獨一家，別無分店。
而且在EUV光刻機中，10萬多個零件，全球供貨，沒有任何一個國家能單獨制造，ASML真正的核心技術不到10%，是依靠全球化分工，把各部件讓全世界頂級的廠商來生產、組裝出來的。
比如德國的蔡司做鏡頭，美國的賽默飛做傳感器，日本(专题)的 NSK 做軸承，瑞典的阿法拉伐做閥門。
光刻機10萬零件誰造的？
光刻機有最難的三塊技術，就是光源、光學系統、精密雙工件台系統。其中光源和光學系統技術門檻最高，價值量也最大。
光源占整機15%-20%，光學系統占24%-30%，雙工件台占12%左右。ASML把這兩塊最硬的骨頭分別交給美國和德國的企業，自己負責把所有零件拼成一台能24小時不停跑的機器。
從技術層面來看，ASML高端EUV光刻機非常難以顛覆與超越。首先EUV制造所需的體積小，功率高且穩定極紫外線光源，這點美國Cymer公司一直掌握著成熟技術，其他國家都是向其采購的。
第二光學系統更是清一色德國血統，EUV光在真空裡走，每面鏡子都會吸收6%-8%的能量，一台機要11面鏡子，加起來光能剩不到1%。所以每面鏡子反射率必須做到70%左右。
反射鏡面，只有用高精度和高光滑度的鏡片才能聚焦和校准光線，從而光線才能精確無誤的照射在硅片上來畫出微小圖案。目前能夠達到光刻機要求的鏡片標准的廠商也在德國。
蔡司從1990年代就開始跟ASML一起搞EUV光學，2012年才交付第一套量產鏡組。
ASML為了綁死蔡司，購買了蔡司半導體光學子公司24.9%的股份。現在High-NA EUV鏡子直徑翻倍，重量上噸，還是只有蔡司能做。- 新聞來源於其它媒體，內容不代表本站立場！
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