没人能吹灭满天星光：中国光刻机的崛起

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毕业生们大多任职机械和光学岗位，入职的公司，叫新凯来。这是一家新公司，成立于2021年8月底，专门研发制造半导体装备。

入职几个月后，新员工们就搬到了深圳。新凯来在龙岗平湖辅城坳附近的园区刚刚建好，还配备了条件不错的员工公寓。

除了东莞松山湖，也有深圳坂田的员工搬到平湖园区。这是场声势浩大的大搬迁，整个过程持续了四个多月，一直到当年年底。

几天前，上海博览中心办了半导体展。让很多人没想到的是，在现场首次亮相的新凯来，能在一夜之间成为了顶流。

这家公司蛰伏了三年，为了这次首秀，一口气掏出了30多款炸裂的新产品。现场的工作人员说，展出的1:15产品模型，大都是已经量产的。其中很多设备，可以支持7纳米，甚至是5纳米的先进制程。

很难想象，这是一家曾被美国制裁的初创企业。

当中，半导体制造最关键的薄膜工艺、外延沉积工艺、刻蚀工艺，他们都有涉及，并以五大名山命名：

长白山、普陀山、阿里山、峨眉山、武夷山。

其中长白山CVD，以25%的价格优势打进国内8英寸市场，拿下了华润微电子5台订单；

普陀山PVD，直接杀进了AMAT长期市占超85%的绝对领域；

阿里山ALD，用≤2Å精度的原子级薄膜沉积，打破了ASM和TEL长期的技术封锁；

峨眉山EPI，正在开发的12英寸版本，将直接对标美国AXT公司的AXT-4000；

武夷山ETCH，良率和其他关键指标直接向东京电子同类产品对齐。

新凯来最大的底气，是他们设备的核心零部件完全国产化。就算是所有零部件，也能达到90%的国产率。

日本经济新闻的记者挤进了人潮汹涌的新凯来展台，回去写下了：

ASML迎来中国踢台者。

新凯来在半导体展亮相后，很多人惊呼，这是中国芯片的“DeepSeek时刻”。但其实，新凯来不是横空出世，他们到如今的成果，是中国近十年的技术积累。

早在2015年，长春光机所就攻克了EUV光刻机的三大核心技术之一，高精度弧形反射镜系统。

但他们用了6年，才拼上了纯国产化的最后一块拼图。中科院控股的北京中科科美，那时研发出了镀膜精度控制在0.1nm以内的直线式劳埃透镜镀膜装置及纳米聚焦镜镀膜装置。

要知道，当时美国刚刚发起对中国半导体的制裁，全世界都不看好中国能渡过这场劫。更有ASML的工程师在网上评论：

就算给中国人图纸，他们也造不出光刻机。

2021年年底，长春光机所拿出了刚验收的课题，和新凯来合资成立了长光集智，专门做投影物镜系统的产业化。

不计成本，饱和式研发，新凯来把长光集智的模式又复制到了宇量昇。2022年7月，新凯来拉来了上海光机所，成立了宇量昇，他们决定共同攻克光源难题。

于是，宇量昇选择了速度最快、但复杂度也最大的技术路线。

到了2023年4月，长春光机所在自己的官网透露，已经制造出了EUV光源样机。EUV光源系统，正是EUV光刻机的心脏部件。

4个月后，美国半导体协会的一批企业家开始联名上书。他们控诉政府的卡脖子，反而让中国企业突飞猛进。

还说，这边有几家公司牵头，已经完成了国产先进芯片的生产线。当中就有华为。

现在看来，美国企业家背调做的确实没错。华为提供的技术能量，确实源源不断输入到了很多初创公司。

这些初创公司里，就有新凯来、宇量昇和长光集智。

新凯来背后的实控人，是深圳的重大产业投资集团。

深重产投的工商信息显示，他们注册的日子是2019年5月16日。当时，距离美国商务部在官网上公布禁止使用的实体清单，仅仅只过去了：

一天。

这份制裁清单里，有华为以及上百个附属公司。

对于深重产投的使命，就写在深圳国资委的官网上。深重产投就是要瞄准那些硬核科技，让深圳集成电路产业实现跨越式的发展。

于是，他们直接或间接投资了不少半导体企业。除了新凯来，还有重投天科半导体、鹏芯微、中芯国际（深圳）、润鹏半导体、鹏新旭、昇维旭。

也正是在深重产投的支持下，深圳有了中芯国际、润鹏半导体，二条12英寸的集成电路生产线。

过去，深圳靠着华为ASIC设计中心、中兴IC设计部，成为以芯片设计见长的产业城市。

现在，深圳要补齐自己芯片制造的短板。

深圳投资的鹏芯微，是一家晶圆代工厂，2021年6月成立后，就以底价在平湖拿了的一块工业用地，要在这里建造新工厂。

鹏芯微的总经理是周劲，之前曾是华为海洋网络公司的CFO。

鹏芯微做的，是化合物半导体生产通讯相关芯片。在他们的计划里，今年要达到2万以上的芯片产能。

像新凯来一样，鹏芯微也拼命从科技院校招收大量高材生。不光如此，他们甚至拿出500万台币（110万人民币）年薪，只为挖到在台积电工作过的资深员工。

2022年3月，另外两家鹏新旭和升维旭，几乎在同一时间成立。新厂房也分别在坪山区和龙华区前后落定。

鹏新旭负责逻辑制程晶圆代工服务，升维旭就负责制造存储芯片。后者的厂长，是曾在台积电工厂的南科18厂厂长张晓强。

最近三年里，深圳东郊的龙岗、坪山，盖起了不少集成电路制造的工厂。比如，鹏芯微在龙岗平湖的工厂不远处，就是新凯来在2023年年初盖起来的园区。他们之前的距离，只有短短的十分钟车程。

毕竟，深圳给自己设定的2500亿半导体营收小目标，单分配给龙岗的就超过了40%。

而平湖，就成了全村的希望。平湖的现在，其实和当年华为刚找到坂田时有点像。1997年，华为进入坂田这片集中开发第一工业园，然后拿到了1平方公里做生产中心。

深圳平湖的思路很明确，就是要大大大：

大空间、大项目，才能拿下大发展、大机遇。

要知道，平湖在最早就是被当作物流重镇的地方。为了早日出头，他们在后来也走了一些弯路。

比如，辅城坳在2008年本来就是作为金融服务外包基地来征拆开发的。等到完全拆完成为净地，都已经是2022年了。

后来的事情大家都知道了。发展国产半导体产业当时迫在眉睫，近百公顷的辅城坳也成了平湖智造园。

背负国运的工地连夜施工，以极快的速度盖好，让一批半导体企业有了阵地。平湖智造园，也成了新凯来园区的所在地。

到了2023年，平湖的工业投资已经翻了一番不止，成为整个龙岗最生猛的第一街道。而比亚迪先进制造地所在的宝龙街道，工业投资也只有平湖街道的一半了。

在深重产投的半导体布局里，鹏芯微肩负着硅基追赶的使命，而新凯来，承担起了换道超车的关键环节。

新凯来参与投资的长光集智光学科技公司，是专门研究光刻机配套技术的。而为长光集智提供科研成果的，是长春光学精密机械与物理研究所。

新凯来的另一家子公司，星光立索，也是科研的中坚力量。他们在深圳的新引进博士，数量是仅次于华为和海思半导体的。

星光立索，其实就是原来的星光工程部：

来自华为2012实验室。

星光工程部的命名，据说来自一句看起来很中二的话“虽然有人拧熄了灯塔，但没有人能够熄灭满天星光”。

在2023年的毕业季，星光工程部曾前往众多高校招聘宣讲，不少毕业生纷纷投递了简历。但几个月后，他们没能等到面试的通知，而是被告知部门变动，岗位取消。

而就在当年8月，星光立索科技公司成立了。

除了顶尖的科研团队，让新凯来底气十足的，还有背后的资金。

而且不只是深圳，还有背书更强劲的大基金二期。新凯来技术的董事长戴军，也是大基金二期的监事、中芯国际的董事。

在2014年成立的大基金一期里，300亿投入晶圆厂，200亿投入集成电路设计，190 亿元用于存储器，100 亿投入组装、测试和封装。而留给生产设备的，只有：

20亿。

从新凯来这个设备制造商的角色来看，2019年成立的大基金二期正在重新衡量过去的投资天平。

在芯片战争这本书里，作者克里斯·米勒说，中国对芯片的补贴和投资，相当于全世界其他地区的总和。他还说，芯片这个商业生态系统，得靠企业自己：

自行冒险和优胜劣汰。

这就很容易让人想到光刻机的来历。

1997年，英特尔拉上摩托罗拉和IBM，成为兄弟会性质的国际联盟，霸凌台积电，不带他玩。

没办法，台积电只能找到当时也是形单影只的荷兰ASML，两家在上世纪80年代同一时间成立，资历相仿，经历也很接近。

都经历过创业艰辛，融不到钱，被日美企业看不起。后来，还是ASML的亲爸飞利浦，成为唯一愿意真金白银资助台积电的海外企业。兄弟俩卧薪尝胆，憋着一口气，联手推进EUV的开发。

克里斯·米勒曾在书里说，EUV光刻机是我们这个时代：

最大的技术赌注之一。

1997年，ASML聘请了最资深的学者担任技术高级副总裁，开始了EUV工业化的项目。

到了2001年，ASML开始分配一小群人，专门来建造原型 EUV 系统了。

5年后，第一批原型机被送往比利时和纽约的科研机构。也是到了那时，整个EUV才开始真正融入半导体的制造过程当中。

2010年，第一台 TWINSCAN NXE:3100，预生产 EUV 系统跨过大半个地球，送到三星。但真正的交付，已经是三年以后的事情了。

直到现在，ASML都还坚定地认为，他们真正的成功，是有客户开始相信自己的技术成果，并且愿意真金白银砸钱买自己的设备。

一直到现在，半导体制造产业链里，最契合的灵魂伴侣莫过于还是ASML和台积电。ASML负责生产EUV光刻机，而台积电就是那个唯一能利用EUV稳定生产的搭档。

最终促使这段紧密关系形成、并让他们更强大的，正是他们共同的敌人。

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